DJM-13B-6L双平面精度研磨抛光机

djm-13b-6l双面精密研磨抛光机

——Zui适合手机面板的抛光机

一、产品用途

本机主要用于硅片，光学玻璃，陶瓷片，石英晶体及其他半导体材料的双面研磨或抛光，也可用于其他硬脆材料的双面高精度研磨加工或抛光加工。

二、主要特点

1. 高性能变频器配合变频电动机，实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击性小。
2. 采用二电机同步拖动，可选择游星轮的变速范围更广，能适应不同的研磨材料及研磨工艺的要求。
3. 内齿圈抬升由油压控制，在总行程范围内随意停留自锁，满足了取放工件及调整游星轮啮合位置的要求，太阳轮高度调节只需调节太阳轮座上的三组不锈钢片厚度，十分方便。
4. 主轴传动采用斜齿轮传动，运转平稳。
5. 采用plc控制，压力采用电—气比例阀与拉力传感器进行闭环反馈控制，系统整个压力过程可根据工艺要求实行控制。
6. 应用人机界面（pt）与plc通讯，一方面显示运行参数，另一方面可通过触摸键调整设定各项工艺参数。
7. 采用集中润滑装置，各相对运行表面，齿轮啮合部位都可得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命。
8. 研磨机配置了高精度的测厚装置，工件加工的动态情况通过（pt）显示器随时可见。
9. 抛光机配置特殊抛光液存储器，可根据用户的加工工艺要求，调节抛光液的温度。

三、主要技术参数

1. 上磨盘尺寸：φ927×φ406×45mm
2. 下磨盘尺寸：φ927×φ406×45mm
3. 磨盘转速：0~60rpm
4. 游星轮参数：公制m=2，z=158，α=20º

英制dp=12，z=147，α=20º

1. 游星轮数量：6个
2. Zui小研磨厚度：（φ10）
3. Zui大研磨直径：φ270mm
4. 主电机：，380v，1440rpm
5. 太阳轮电机：，380v，1440rpm
6. 气源：
7. 设备外形尺寸（长×宽×高）：1550mm×1200mm×2700mm
8. 机器重量：4000kg

四、主机精度

1. 下抛光盘端跳：
2. 上下抛光盘平面度：
3. 太阳轮经向跳动：
4. 内齿圈经向跳动：

五、加工能力

1. 单片承量：8片/φ75mm，5片/φ100mm
2. 整盘承片量：48片/φ75mm，30片/φ100mm